在微构龙科技（MST）的产品中，电镀和腐蚀夹具系列占有很重要的地位，它的功能在于承载晶圆（硅片），配合设备对晶圆（硅片）进行各种操作，同时兼具对晶圆（硅片）的保护或与外设装置的安全连接。夹具作为一个系列的独立产品，可供客户进行选择，同时根据客户的功能要求和样品形状尺寸进行个性化定制服务。

 

1. 微电镀夹具：         主要用于电镀设备的阴阳极，承载晶圆（硅片）和进行电连接。

2. 硅片保护夹具：      用于KOH深硅腐蚀，在腐蚀工艺中有效保护非腐蚀面不被腐蚀。

3. 电化学腐蚀夹具：   硅片保护夹具，适合硅片背面有金属或无金属的样品，在保护非腐 蚀面不被腐蚀的同时，

                              实现硅片与电源的连接。

4. 电化学腐蚀阴阳极：电极材料可选择Pt，Mo，Si，Grahite等，专用的外连接装置实现电极与外界电源的连接。

5. 光辅助系统光源：    专门为电化学多孔硅腐蚀设备光辅助系统配套使用。

 

夹具的详细描述和应用：http://www.szmst.com/cn/products.asp?menuid=144