湿法PSS腐蚀设备是微构龙科技(MST)是针对LED行业中MOCVD GaN外延前对蓝宝石衬底进行WET PSS ETCHING而设计和制造的。它可以有效地控制腐蚀过程,以得到高的腐蚀速率、光滑的表面和好的均匀性。
近几年，为了改善出光效率，PSS技术得到了发展。DRY PSS技术已得到商业化应用。但是，成本成为了这项技术进一步发展和应用的瓶颈。以此为契机，WET PSS技术以它的低成本和工艺可控的优势取代DRY PSS技术就成为了可能。
目前，低成本和实用的WET PSS标准设备成为了这项技术商业化应用的关键。不幸的是，欲开发和应用这项技术的公司仍在使用简陋的装置。
MST作为专业的微电镀和微腐蚀设备和技术的供应商开发了用于WET PSS技术的标准设备，很好地满足此类技术的研发和生产的需要。
设备的技术特点：
1. 设备整体防腐设计和制作。
2. 双温高温石英缸设计，保证工艺的稳定性和质量。
3. 集成控制：设备的所有功能由触摸屏（PLC）控制，预设多项程序，界面简洁易学。
4. 操作模式：自动，操作过程由三位机械手完成。
5. 有效安全设计和防护措施：保证设备的运转安全，化学安全和人员安全。
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