序号	名称	功能规格参数	适用工艺	定制
1	温控石英缸	集成式加热石英缸， 温度范围最高200℃+/-1℃。	非氟类腐蚀清洗液，加温。	是
2	高温石英缸	为集成式加热石英缸， 温度范围最高300℃+/-2℃	蓝宝石衬底PSS腐蚀	是
3	超声清洗缸	槽体为不锈钢，频率40HZ(可指定频率),功率时间可调。可选配内槽，包括石英缸，PVDF槽和NPP槽。	超声清洗	是
4	QDR清洗单元	标准QDR功能，自动循环，循环次数可设定。槽体为NPP材料。	DI水自动清洗	是
5	PVDF槽体	PVDF加工而成，可配备加热，循环，液位检测，排液等功能。	温度低于90℃的腐蚀清洗	是
6	NPP槽体	NPP加工而成，可配备加热，循环，液位检测，排液等功能。	温度低于70℃腐蚀清洗	是