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产品信息 |
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晶圆金属和介质腐蚀清洗-MME系列 |
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| 晶圆旋转腐蚀清洗机-MME-01AR-6A |
产品名称：晶圆旋转腐蚀清洗机
产品型号：MME-01AR-6A
产品类型：研发和生产型
工艺类型：Au, Cr, Ni, Cu, Ti, AL和dielectric腐蚀
应用范围：SEMI,MEMS,LED,OPTO |
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| 金属剥离清洗机-MNME-02AR-L |
产品名称：金属剥离清洗机
产品型号：MNME-02AR-L
产品类型：研发和生产型
工艺类型：lift-off process
应用范围：SEMI,MEMS,LED,OPTO |
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| 温控腐蚀台-MME-03AR |
产品名称：温控腐蚀台
产品型号：MME-03AR
设产品类型：研发型
工艺类型：高温腐蚀金属和介质(非氟类腐蚀液）
应用范围：SEMI,MEMS.LED,OPTO
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| 四槽常温腐蚀台-MME-04AR |
产品名称：四槽常温腐蚀台
产品型号：MME-04AR
产品类型：研发型
工艺类型：常温金属盒介质腐蚀
应用范围：SEMI,MEMS,LED,OPTO
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