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产品信息 晶圆（硅片）微电镀-MP系列 氢氟酸蒸汽腐蚀台-MHFF系列 硅片全自动清洗腐蚀机- MC系列 电化学多孔硅腐蚀机-MEC系列 晶圆金属和介质腐蚀清洗-MME系列 深硅腐蚀（KOH)- MDSE系列 湿法PSS腐蚀机-MWPSS系列 功能单元槽体-MTANK系列 微电镀和腐蚀夹具系列

氢氟酸蒸汽腐蚀台-MHFF系列 氢氟酸气相腐蚀台-MHFF-01AR 产品名称：氢氟酸气相腐蚀机 产品型号：MHFF-01AR 产品类型：研发型 工艺类型：SiO2腐蚀 应用范围：硅片背面金属化工艺和MEMS RELEASE工艺 氢氟酸气相腐蚀台-MHFF-01AP 产品名称：氢氟酸气相腐蚀机 产品型号：MHFF-01AP 产品类型：生产型 工艺类型：SiO2腐蚀 应用范围：硅片背面金属化工艺和MEMS REEASE工艺 页次：1/1  每页5条 共 2 条信息 分页：9 7 8 :   第 1 页

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